主要功能 ：
線性馬達驅(qū)動探頭，成像更精準
**的掃描臺和樣品固定架
PolyGate功能，每個通道可設置多達100個Gate，能同時收集100層感興趣的區(qū)域數(shù)據(jù)，包括能量、色譜、波形等，并生成100張圖像
Multi-Gate和Probing-Gate功能允許單層或多層聚焦成像
STaR模式能同時獲得反射和透射兩種圖像
Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數(shù)據(jù)
可選Digital Image Analysis (DIA)數(shù)字圖像分析自動計算出缺陷大小、數(shù)目、多少和分布
可選Waterfall流水式探頭和在線溫度控制
可選VRM樣品虛擬建模脫機掃描模式
可選FDI頻域成像模式
WaterPlume噴泉式探頭確保產(chǎn)品干燥,防止污染(D9600Z)
可裝載單個或兩個WaterPlume噴泉式探頭(D9600Z)
WaterPlume噴泉式固定架基于IGBT power功率模塊設計，防止水花飛濺(D9600Z)
集成空氣干燥器在掃描完成后干燥產(chǎn)品遇水部分(D9600Z)